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离子束加工的主要应用

发布时间:2024-04-10 10:24:15 来源:互联网 分类:电气知识

文章摘要: 离子束加工的主要应用  离子束加工的应用领域正在日益扩大、不断创新,目前用于改变零件表层尺寸和表层物理、力学性能的离子束加工有:刻蚀加工、离子镀膜加工等。 1、刻蚀加工的定义及具体应用领域  1.1刻蚀加工的定义  离子刻蚀是从工件上去除材料,是一个

离子束加工的主要应用  离子束加工的应用领域正在日益扩大、不断创新,目前用于改变零件表层尺寸和表层物理、力学性能的离子束加工有:刻蚀加工、离子镀膜加工等。 1、刻蚀加工的定义及具体应用领域  1.1刻蚀加工的定义  离子刻蚀是从工件上去除材料,是一个撞击过程,离子束刻蚀工艺的一个很重要的物理参数是刻蚀速率,它表征着每一个入射离子打出的原子数,刻蚀速率与离子束能量、束流大小、离子束轰击表层的入射角以及被加工材料的原子结构、晶向等许多因素有关,离子束能量、束流越大,刻蚀速率越大。 1.2刻蚀加工的应用领域 刻蚀加工一方面可用于加工陀螺仪空气的沟槽,分辨率高,精度、重复一致性好,也可用于加工费球面镜,离子束刻蚀加工应用的另一方面是刻蚀高精度的图形,如集成电件、磁泡器件、光电器件和光集成器件等,离子束刻蚀系统的优点在于:分辨率高,可得小于10nm的特征尺学掩膜;直接离子移植。 2、离子镀膜加工的定义及具体应用 2.1离子镀膜加工的定义 离子镀是在真空蒸发镀和溅射镀膜一种镀膜新技术,将各种气体放电方式引入到气相沉积领域,整个气相沉积过程都是在等离子体进行的,镀膜时,工件带负偏压,工件始终手高能离子的轰击,具有形成膜层与膜基结合力好、膜层的绕度性好、膜层组织可控参数多、膜层粒子总体能量高,容易进行反应沉积,可以在较低温度下获得化合物膜层等优点。 2.2离子镀膜加工的具体应用 离子镀可镀材料范围广泛,不论金属、非金属表层上均可镀制金属或非金属薄膜,各种合金、化合物、或某些合成材料、半导体材料、高熔点材料亦均可镀覆,离子束镀膜技术可用于镀制润滑膜、耐热膜、装饰膜和电气膜等,离子束装饰膜,离子束镀膜代替镀铬硬膜,可减少镀铬公害,提高刀具的寿命。

离子束加工的主要应用

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