对干式真空泵的介绍

干式真空泵（也称干式机械泵）是指该泵可在常压下启动抽气，并可将抽吸的气体直接排放到大气中。泵腔内无油或其他工作介质，压力等于或接近油封真空泵的机械真空泵。

截至2013年，真空行业使用的机械真空泵大多采用油、水或其他聚合物等流体作为泵的工作介质，在泵内具有冷却、密封、润滑等多重功能。随着科学技术的发展和真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其排气系统有两个迫切需要解决的问题：一是泵的工作介质倒流，污染被抽容器，而这种回流在很多情况下会影响产品的质量和数量，增加设备的维护成本。其次，真空泵中的介质由于某些过程当中的反应物而严重变质，使泵无法正常运转。

对于普通的无油真空系统，虽然可以使用油封真空泵和冷阱或吸附阱等附件来避免回流，但不可完全解决问题，使系统复杂。使用合适类型的干式真空泵可以达到预期的效果。

干式真空泵应用广泛，主要表现在以下几个方面：

1、低压化学气相沉积多晶硅制备工艺；

2、半导体蚀刻工艺。干式真空泵在这些生产过程当中经常使用或产生腐蚀性气体和磨料颗粒；

3、对于除半导体工艺外的一些会产生颗粒的工艺，预计颗粒不会混入干式真空泵的泵油中，预计颗粒会从泵中排出，某种类型的干式机械真空泵可以满足要求；

4、在化工、医药、食品行业的蒸馏、干燥、脱气、包装等过程当中，应避免有机溶剂造成污染，宜选用干式真空泵；

5、干式真空泵用作一般无油清理真空系统的前级泵，避免油污。