离子束加工：离子束加工的应用

离子束加工利用具有较高能量的离子束撞击材料表层以执行不同处理时发生的冲击效应，溅射效应和注入效应。 由于离子束轰击材料以逐层去除原子，因此可以达到纳米级的加工精度。 离子束加工根据其技术原理和目的可分为三种：用于从工件上去除材料的蚀刻处理，用于对工件表层进行镀覆的电镀处理以及用于表层改性的离子注入处理。 由于电子束和离子束易于控制，因此加工过程可以完全自动化，但是在电子束和离子束的聚焦和偏转方面仍然有许多技术问题需要解决。

离子束加工的应用：

  1.蚀刻处理：

  离子蚀刻用于加工陀螺仪空气轴承和动压马达上的凹槽，具有高分辨率，精度和可重复性。

  离子束蚀刻的应用的另一个方面是蚀刻高精度图形，例如集成电路，光电器件和光学集成器件。

  太阳能电池的表层具有非反射纹理表层。

  离子束刻蚀还用于减薄材料和制造穿透式电子显微镜试件。

  2.离子束镀膜处理：

  离子束涂层处理有两种形式：溅射沉积和离子镀。

  离子镀可以镀多种材料。 金属或非金属膜可以镀在金属和非金属表层上。 也可以电镀各种合金，化合物或某些合成材料，半导体材料和高熔点材料。

以上就是常州鑫立离子技术有限公司小编收集的内容，如有需要请与我们联系。公司是以一家专业从事高端离子源技术、离子束加工开发的创新型公司，公司具有射频离子源系统、离子束加工技术、离子束加工、射频离子源整机装备制造和应用的研发与设计能力，目前已与多家科研究院所及国内知名镀膜设备生产、应用公司进行合作。公司于2018年6月份推出了完全自主研发的射频离子源系统，填补了国内在高能射频离子系统的空白，促进国内光学镀膜以及高端离子加工产业的产品升级和整体竞争力提升。