文章摘要: 真空计是测量真空系统中气体压力的仪器,种类繁多。这里介绍的复合真空计是普遍的一种,由热电偶真空计和热阴极电离真空计组成。热电偶真空计的原理热电偶真空计管由玻璃制成,通过小管与真空系统相连。测量管中的两根导线上有热丝,另外两根导线上焊接有一对
真空计是测量真空系统中气体压力的仪器,种类繁多。这里介绍的复合真空计是普遍的一种,由热电偶真空计和热阴极电离真空计组成。
热电偶真空计的原理
热电偶真空计管由玻璃制成,通过小管与真空系统相连。测量管中的两根导线上有热丝,另外两根导线上焊接有一对热电偶。热电偶的另一端与A点的热线焊接在一起。
由于气体的导热系数与低压时的压力成正比,所以在流过热线的电流不变(90 ~ 150毫安)的情况下,热丝的温度随着表管内真空度的增加而升高,热电偶的电动势也相应增加。因此,测量系统的真空度可以通过测量热电偶的电动势来确定,热电偶真空计就是根据这个原理制作的。热电偶真空计电离真空计的测量范围为1 ~ 5× 10-2 pa。
阴极电离真空计的原理
电离真空计管是一个三极管,通过B管与真空系统相连。运行时,5毫安的电流通过灯丝电路,灯丝加热后发出电子。因为栅极是正电压,电子被加速,与中间的气体分子碰撞。气体密度越高,碰撞几率越大,产生的正离子越多。此外,由于极板电压为负,在极板电路中,正离子被吸引形成极板电流Ip。气体分子密度越高,板电流越大,反之亦然。因此,可以通过测量平板电流来确定气体的压力,热阴极电离真空计就是根据这一原理制成的。阴极电离真空计是一种测量很高真空的仪器,测量范围为1×10-2 ~ 1×10-5帕。注意:一旦测量结束,立即关闭电离真空计的灯丝,这样可以延长真空计的使用年限。
如何使用复合真空计
复合真空计是以上两种真空计的组合。现在常用的型号有K型和FZH型,使用方法基本相同。其余属于热阴极电离真空计,热电偶真空计和电离真空计已焊接在真空系统上。测量时,每根电缆都连接复合真空计,使用前或停止运行时,应关闭面板上的所有开关。
复合真空计的使用
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