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刻蚀机作为微电子制造过程中的重要设备之一，其作用主要是通过化学或物理作用，在半导体表面刻蚀出微小的凹槽和沟槽，用于制造微电子器件。 刻蚀机的刻蚀过程和传统的雕刻类似，先用光刻技术将图形形状和尺寸制成掩膜，再将掩膜与待加工物料模组装好，将样品置于刻蚀室内，面议2024-08-14 -
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刻蚀机实际上狭义理解就是光刻腐蚀，先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理，然后通过其它方式实现腐蚀处理掉所需除去的部分。随着微制造工艺的发展；广义上来讲，刻蚀成了通过溶液、反应离子或其它机械方式来剥离、去除材料的一种统称，成为微加工制造的一种普适叫法。 刻面议2024-08-14
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