超迈真空等离子刻蚀机 免费打样设计 各种类型可供选择
cdcm12345
2024-04-10 15:32:37
Surpass系列 干法刻蚀机，特别适合于大口径、高均匀性和有特殊微纳结构的基片刻蚀，最大刻蚀尺寸可达φ2500mm，通过高密度等离子体及离子浓度修正系统，可达到基片有效刻蚀区域内均匀性较高的技术指标，满足大口径基片刻蚀的需求。
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