SEREN射频电源维修射频匹配器R301MKⅡ R601

美国SEREN电源维修（SEREN射频匹配器）包括：

R系列射频电源：R301-13、R601-13、R1001-13、R1001/1.2、R2001-13、R5001-13、R5001-13、R10,001-13、R15,001-13、R20,001-13，R600

HR系列射频电源：HR601、HRL1001、HR1501、HR2001-AC、HR2001、HR3001、HR5001

L系列低频电源：L301、L601、L1001、L2001、L3001、L5001I系列射频电源

用于ICP领域AT系列自动匹配器：AT-3、AT-6/100、AT-6/500、AT-10、AT-20、AT-30、AT-50/120、AT-50/140、AT-100/160、AT150/180、AT-250/250

射频电源维修注意事项：

在更换完器件后,上电前应对其相关器件进行测量,是否出现短路现象(如整流桥、IGBT管、电源输入输出部分、功率器件输入输出等等)